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新型掃描探針顯微鏡（SPM）和掃描電子顯微鏡（SEM）關(guān)聯(lián)成像系統(tǒng)簡(jiǎn)介
KOSTER / 2018-12-04

LiteScope?是一種獨(dú)特的掃描探針顯微鏡（SPM）滩扩。它設(shè)計(jì)用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡（SEM）中芍躏。組合互補(bǔ)的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢(shì)屯阀。使用LiteScope?及其可更換探針系列，可以輕松進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析捅伤，包括表面形貌株婴，機(jī)械性能，電性能暑认，化學(xué)成分困介，磁性能等的表征。

相關(guān)探針和電子顯微鏡?（CPEM）結(jié)合了SPM和SEM技術(shù)蘸际。 CPEM可以同時(shí)在同一協(xié)調(diào)系統(tǒng)中同時(shí)獲取同一區(qū)域的SPM和SEM圖像座哩。結(jié)合SPM和SEM成像方法可以得到分析區(qū)域的更廣泛的信息光譜，從而揭示兩種圖像中可能存在的等同性和不一致性粮彤。

工作原理

將樣品連接到壓電掃描儀根穷。電子束焦點(diǎn)和SPM探針在CPEM圖像采集期間仍然是。
感興趣的區(qū)域由壓電掃描器逐點(diǎn)掃描并發(fā)出信號(hào)
同時(shí)對(duì)SEM檢測(cè)器和SPM探針進(jìn)行采樣蓝漏，以便進(jìn)行測(cè)量放在同一個(gè)協(xié)調(diào)系統(tǒng)中诽怨。在SPM尖端和該范圍內(nèi)的聚焦電子束之間存在恒定的尖端/點(diǎn)偏移
數(shù)百納米。如果減去這樣的尖端/點(diǎn)偏移吭匀，則SEM和SPM圖像具有完美匹配和優(yōu)異的相關(guān)性
- 可以獲取CPEM圖像食云。

CPEM技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)

CPEM提供多維相關(guān)成像 - 來自掃描電子顯微鏡的圖像被擴(kuò)展為3D。
使用CPEM螺城，可以快速準(zhǔn)確地區(qū)分SEM圖像中的地形和材料對(duì)比度痒池。
CPEM以適當(dāng)?shù)姆绞綄蓚€(gè)或多個(gè)SEM信號(hào)與測(cè)量的地形相關(guān)聯(lián)，例如SE躬伐，BSE凉陌，EBIC等。
CPEM可以在相同的條件下同時(shí)測(cè)量AFM和SEM試樣條件吵墅，相同的測(cè)量速度等
組合的AFM和SEM掃描系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)精確的圖像相關(guān)埠浩，消除漂移和其他不準(zhǔn)確性。

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