liteScope?
LiteScope?是一種獨(dú)特的掃描探針顯微鏡(SPM)矛绘。 它設(shè)計(jì)用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡(SEM)中耍休。 組合互補(bǔ)的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢(shì)刃永。使用LiteScope?及其可更換探針系列,可以輕松進(jìn)行復(fù)雜的樣品分析羊精,包括表面形貌斯够,機(jī)械性能,電性能太汹,化學(xué)成分榕华,磁性能等的表征。LiteScope?的設(shè)計(jì)還使其可以與其他SEM配件結(jié)合使用聚焦離子束(FIB)或氣體注入系統(tǒng)(GIS)用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面改性窗项。在這種組合中粮忍,LiteScope?可對(duì)制造的結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速簡便的3D檢測。此外帮声,LiteScope?開辟了一個(gè)全新的測量技術(shù)領(lǐng)域肄蓄,可實(shí)現(xiàn)相關(guān)顯微鏡,即所謂的相關(guān)探針和電子顯微鏡(CPEM)专散。 CPEM技術(shù)是市場上首創(chuàng)的技術(shù)床候。 它可以在同一個(gè)地方進(jìn)行SPM和SEM測量,同時(shí)湃足,使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)猩缺。 只有CPEM技術(shù)才能為您帶來SPM和SEM技術(shù)相關(guān)成像的全部優(yōu)勢(shì)。
特點(diǎn)? LiteScope?可提高性能的SEM升級(jí)
可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用
獨(dú)特的相關(guān)探針和電子顯微鏡(CPEM)技術(shù)
復(fù)雜的表面表征- 形貌剂户,粗糙度泣爷,磁性,導(dǎo)電性奉狈,電性能
自感應(yīng)探頭卤唉,無需光學(xué)檢測,無需激光調(diào)整
LiteScope?易于安裝到SEM的樣品臺(tái)上/從樣品臺(tái)中取出
兼容FIB仁期,GIS桑驱,EDX等配件
在傾斜位置(角度0°-60°),最小工作距離5毫米
可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間
市售探針跛蛋,種類繁多測量模式
快速簡便地更換探頭和樣本
用戶友好的軟件熬的,在網(wǎng)絡(luò)瀏覽器中操作,輕松遠(yuǎn)程訪問
LiteScope?也可作為獨(dú)立的SPM使用
相關(guān)探針和電子顯微鏡 - CPEM
LiteScope?是現(xiàn)有SEM儀器工作方式的強(qiáng)大增強(qiáng)功能赊级。 但是押框,還有更多的內(nèi)容。相關(guān)顯微鏡結(jié)合了使用兩種不同技術(shù)對(duì)同一物體成像的好處理逊。來自單獨(dú)圖像的數(shù)據(jù)的相關(guān)性提供了關(guān)于樣本的更詳細(xì)信息橡伞,否則這些信息將太復(fù)雜而無法分析。NenoVision開發(fā)了獨(dú)特的技術(shù)-相關(guān)探針和電子顯微鏡(專利申請(qǐng)中)-用于相關(guān)成像晋被。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時(shí)使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)兑徘。
CPEM技術(shù)能夠以迄今尚未獲得的方式對(duì)標(biāo)準(zhǔn)SEM和SPM方法進(jìn)行相關(guān)成像刚盈。CPEM同步掃描區(qū)域,分辨率和圖像失真嘹征,并實(shí)時(shí)關(guān)聯(lián)采集的SPM和SEM圖像千荡。
使用已知恒定偏移和相同分辨率的同時(shí)掃描可確保在同一表面上執(zhí)行分析√┙酰可以使用我們的NenoView軟件在線直接查看生成的圖像。