>
原子力顯微鏡liteScope
liteScope?
LiteScope?是一種獨特的掃描探針顯微鏡(SPM)事示。 它設計用于輕松集成到各種掃描電子顯微鏡(SEM)中。 組合互補的SPM和SEM技術(shù)使其能夠利用兩者的優(yōu)勢尤吟。使用LiteScope?及其可更換探針系列,可以輕松進行復雜的樣品分析刷寨,包括表面形貌翁骗,機械性能,電性能铭懂,化學成分引笛,磁性能等的表征。LiteScope?的設計還使其可以與其他SEM配件結(jié)合使用聚焦離子束(FIB)或氣體注入系統(tǒng)(GIS)用于制造納米/微結(jié)構(gòu)和表面改性肉诚。在這種組合中决毕,LiteScope?可對制造的結(jié)構(gòu)進行快速簡便的3D檢測忌挺。此外,LiteScope?開辟了一個全新的測量技術(shù)領域留满,可實現(xiàn)相關顯微鏡嫂藏,即所謂的相關探針和電子顯微鏡(CPEM)。 CPEM技術(shù)是市場上首創(chuàng)的技術(shù)喻谭。 它可以在同一個地方進行SPM和SEM測量峻胞,同時,使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)关带。 只有CPEM技術(shù)才能為您帶來SPM和SEM技術(shù)相關成像的全部優(yōu)勢侥涵。
特點? LiteScope?可提高性能的SEM升級
可作為現(xiàn)有顯微鏡的插件或作為新的SEM使用
獨特的相關探針和電子顯微鏡(CPEM)技術(shù)
復雜的表面表征- 形貌,粗糙度宋雏,磁性芜飘,導電性,電性能
自感應探頭磨总,無需光學檢測嗦明,無需激光調(diào)整
LiteScope?易于安裝到SEM的樣品臺上/從樣品臺中取出
兼容FIB,GIS舍败,EDX等配件
在傾斜位置(角度0°-60°)招狸,最小工作距離5毫米
可伸縮的測量頭可釋放樣品周圍的空間
市售探針,種類繁多測量模式
快速簡便地更換探頭和樣本
用戶友好的軟件邻薯,在網(wǎng)絡瀏覽器中操作裙戏,輕松遠程訪問
LiteScope?也可作為獨立的SPM使用
相關探針和電子顯微鏡 - CPEM
LiteScope?是現(xiàn)有SEM儀器工作方式的強大增強功能。 但是厕诡,還有更多的內(nèi)容累榜。相關顯微鏡結(jié)合了使用兩種不同技術(shù)對同一物體成像的好處。來自單獨圖像的數(shù)據(jù)的相關性提供了關于樣本的更詳細信息倘封,否則這些信息將太復雜而無法分析癣辉。NenoVision開發(fā)了獨特的技術(shù)-相關探針和電子顯微鏡(專利申請中)-用于相關成像。CPEM能夠通過SEM和SPM確定樣品區(qū)域的表面特征同時使用相同的協(xié)調(diào)系統(tǒng)帚萧。
CPEM技術(shù)能夠以迄今尚未獲得的方式對標準SEM和SPM方法進行相關成像传起。CPEM同步掃描區(qū)域,分辨率和圖像失真赔膳,并實時關聯(lián)采集的SPM和SEM圖像掺挺。
使用已知恒定偏移和相同分辨率的同時掃描可確保在同一表面上執(zhí)行分析≈罱鳎可以使用我們的NenoView軟件在線直接查看生成的圖像狰丝。